EV Group, 차세대 EVG150 레지스트 처리 플랫폼 출시

-새로워진 디자인의 200mm 플랫폼으로서, 이전 세대 플랫폼의 우수한 성능은 그대로 유지
-모듈 용량을 늘려 생산성을 높이고, 아키텍처 개선을 통해 장비 풋프린트 축소

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